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大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于沉积炉的工作原理的问题,于是小编就整理了3个相关介绍沉积炉的工作原理的解答,让我们一起看看吧。
CVD(Chemical Vapor Deposition, 化学气相沉积),指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。
在超大规模集成电路中很多薄膜都是***用CVD方法制备。经过CVD处理后,表面处理膜密着性约提高30%,防止高强力钢的弯曲,拉伸等成形时产生的刮痕。 CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术最初是作为涂层的手段而开发的,但目前,不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。 其技术特征在于:(1)高熔点物质能够在低温下合成;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层,等。特别是在低温下可以合成高熔点物质,在节能方面做出了贡献,作为一种新技术是大有前途的。 例如,在1000℃左右可以合成a-Al2O3、SiC,而且正向更低温度发展。 CVD工艺大体分为二种:一种是使金属卤化物与含碳、氮、硼等的化合物进行气相反应;另一种是使加热基体表面的原料气体发生热分解。 CVD的装置由气化部分、载气精练部分、反应部分和排除气体处理部分所构成。目前,正在开发批量生产的新装置。 CVD是在含有原料气体、通过反应产生的副生气体、载气等多成分系气相中进行的,因而,当被覆涂层时,在加热基体与流体的边界上形成扩散层,该层的存在,对于涂层的致密度有很大影响。图2所示是这种扩散层的示意图。这样,由许多化学分子形成的扩散层虽然存在,但其析出过程是复杂的。粉体合成时,核的生成与成长的控制是工艺的重点。 作为新的CVD技术,有以下几种: (1)***用流动层的CVD; (2)流体床; (3)热解射流; (4)等离子体CVD; (5)真空CVD,等。 应用流动层的CVD如图3所示,可以形成被覆粒子(例如,在UO2表面被覆SiC、C),应用等离子体的CVD同样也有可能在低温下析出,而且这种可能性正在进一步扩大真空电镀是一种物理沉积现象,就是在真空状态注入ya气,ya气撞击靶材,靶材分离成分子被导电货品吸附形成一层均匀光滑的表面层。真空电镀的优点就是,做出来的产品金属感强,亮度高,而相对其他的镀膜做法来说,成本较低,对环境的污染小,现在被各行各业广泛使用。
锅炉清灰放炮是一种常用的锅炉除尘方式,也被称为锅炉爆炮清灰。放炮清灰是通过燃烧可燃物质在锅炉炉膛中产生短时高温、高压气体,快速喷射到锅炉顶部,使顶部的灰尘被冲出锅炉,达到清洁除尘的目的。
放炮清灰的原理主要包括以下几个步骤:
1. 燃烧准备阶段:在锅炉炉膛中进一步燃烧可燃气体或煤粉等沉积的可燃物质,提高燃烧室内气体温度和压力;
2. 清灰阶段:通过打开锅炉上部的灰斗、快速关闭进风阀等措施,同时打开顶部炉门,利用高温、高压气体迅速喷射到锅炉顶部,产生冲击力将顶部的灰尘冲出锅炉;
3. 清灰结束:等冲击力消失,停止喷射,关闭顶部炉门,恢复正常运行状态。
放炮清灰的关键是控制好燃烧过程和喷射力度,以确保清灰效果和运行安全性。同时,也需要根据锅炉的不同特性和部署条件,***取合适的放炮清灰方案。
到此,以上就是小编对于沉积炉的工作原理的问题就介绍到这了,希望介绍关于沉积炉的工作原理的3点解答对大家有用。