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大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于压阻式压力传感器工作原理的问题,于是小编就整理了3个相关介绍压阻式压力传感器工作原理的解答,让我们一起看看吧。
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。***用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
应变片压力传感器原理
在了解压阻式力传感器时,我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小,一般这种应变片都组成应变电桥,并通过后续的仪表放大器进行放大,再传输给处理电路(通常是A/D 转换和CPU )显示或执行机构。
电阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。***用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
电阻式压力传感器一般是由在同一个平面上不同方向的4个电阻组成惠斯通电桥,利用传感器受到压力时不同方向上电阻的阻值的变化不同,输出的电压与压力成线性变化的原理来实现的。
电阻式压力传感器常见的有两大类,一类是陶瓷压阻式传感器,另一类是扩散硅压阻式传感器。
用ISO技术将半导体材料的敏感芯片封装在不锈钢波纹膜片的壳体中,在不锈钢波纹膜片和芯片之间充有硅油。
芯片引线穿过壳体引出并***用密封措施,防止硅油向外泄露或外面的压力介质渗入其中,这样芯片、硅油、壳体和引线组成压力传感器。
当传感器处在压力介质中时,介质压力作用于波纹膜片上使使其中的硅油受压,硅油将膜片的压力传递给半导体芯片。
芯片受压后使其电阻值发生变化,电阻信号通过引线引出。
不锈钢波纹膜片壳体受到压力并保护芯片,因而压阻式压力传感器能在有腐蚀性介质中感应压力信号。
到此,以上就是小编对于压阻式压力传感器工作原理的问题就介绍到这了,希望介绍关于压阻式压力传感器工作原理的3点解答对大家有用。